一、简介：

CL-6激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可对米进行定义，且溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高速采集、高动态同步触发等应用方面，优于进口设备。

激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s 的测量速度，以及纳米级的分辩力，采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

二、主要功能

（1）结合不同的光学镜组，实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴 等几何参量的高精密测量；

（2）检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度 等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析 等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

三、主要技术指标

1        测量方式                双频

2        稳频精度                0.02ppm

3        动态采集频率           50kHz

4        预热时间                ≤6 分钟

5        空气温度传感器          ±0.1℃(0～40)℃ , 分辨力 0.01℃

6        材料温度传感器          ±0.1℃(0～55)℃ , 分辨力 0.01℃

7        空气湿度传感器          ±6%RH(0～95)%RH

8        大气压力传感器          ±0.1kPa(65～115)kPa

9        测量距离                (0～80)m(无需远距离线性附件)

10       测量精度                0.2ppm(0～40)℃

11       测量分辨力              1nm

12       测量最大速度           4m/s

13       便携箱尺寸             613mm×460mm×230mm

14       标准配置重量            18kg

15       供电电源                （100～240）VAC

16       供电功率                60W

17       工作温度范围            (0～40)℃

18       存储温度范围            (-20～70)℃

19       环境湿度                (0～95)%RH

20       激光安全等级           达到 Class Ⅰ要求

四、应用场景

激光干涉仪是一种利用激光的干涉原理来测量物体尺寸和位置变化的高精度测量工 具。它在许多领域中都有广泛的应用，以下是一些典型的激光干涉仪使用场景：

在现代制造业的尖端领域，激光干涉仪发挥着至关重要的作用。在工业制造中的精密 测量，激光干涉仪能够实现亚微米级甚至纳米级的位移测量，是精密仪器研发和生产中不 可或缺的工具。

在机械加工和精密制造中，激光干涉仪用于校准机床、测量工具和加工件的精度。例 如，在集成电路制造中，激光干涉仪是光刻机在线位移测量的核心部件，用于测量和校准 晶圆的平整度和光刻设备的精度。

表面形貌测量：激光干涉仪可以测量微观表面的凹凸及表面光滑度，广泛应用于材料 科学、纳米科技等领域。质量控制：通过激光干涉仪，可以检测光学元件的表面形貌和光 学特性，从而有效控制产品的质量和性能。

在生物医学领域，生物组织测量：激光干涉仪能够测量生物组织的变形、变量等参 数，为医学研究和医疗诊断提供重要数据。

振动分析领域，机械部件检测：激光干涉仪可以对机械部件或振动体进行振动频率、幅度 等参数的测量，帮助进行机械工程的研究和调试。

在测量实验室作为长度基准使用。

在航空航天工业，激光干涉仪用于测量和校准飞机部件、卫星组件和航天器的精密尺 寸。

在光学领域，激光干涉仪用于测试和校准光学系统的性能，如镜头、反射镜和光学元 件。

汽车制造商使用激光干涉仪来确保汽车零部件的制造精度和装配质量。

激光干涉仪因其高精度和非接触性的特点，在需要精确测量和校准的场合中发挥着 不可替代的作用。