一、功能及技术指标
1）该标准装置可以开展：

JJF 1062-1999 电离真空计校准规范

JJF 1050-1996 工作用热传导真空计校准规范

JJG 932-1998  压阻真空计检定规程

JJF 1062-2022 电离真空计校准规范（电离真空计新规范23年实行）

JJG 882-2019  压力变送器检定规程（绝压压力变送器）等规程、规范的校准业务。

2）技术指标

1．型号：WCZK12-02

2．测量范围：（1~10000）Pa

3．电源：AC220V±10% 50HZ

4．功率：300W

5．控制电压：DC24V

6．工作环境：（15~35）℃ 50%RH 以下

7．测量范围：（1~10000）Pa

3）技术指标

二、具体参数

1）中低真空标准器：电容薄膜真空计

2）高真空标准器：电离真空计，

测量范围：（1×10³～2×10^-6）Pa；精度：±10%rdg

高真空校准室尺寸：球形真空室内径ф350mm,体积大约为30.5L。

中低真空校准室：球形真空室内径ф250mm,体积大约为10L

3）校准室：校准室为双球真空室，其中高低真空校准室分离，双高真空系统

4）高真空校准室尺寸：球形真空室内径ф350mm,

5）中低真空校准室：球形真空室内径ф250mm

6）极限真空：高真空部分： 上球室优于2×10^-6Pa；下球室达到1×10^-6 Pa；

中低真空部分：校准室优于5×10^-4 Pa。

7）高真空校准室烘烤温度：（室温-200℃）可任意设定

8）烘烤温度：室温-200℃)可任意设定

9）阀门：主阀为超高真空插板阀；

10）泵：主泵为分子泵

11）球型校准室和管道不锈钢材料均为304或316L，并且对整体材料进行电抛光处理. 

12）装置结构和装置外形尺寸

13）主机一台，出具省级以上计量单位的溯源证书，提供上门安装培训服务

 真空应用技术优势，精确的数据处理能力；

三、功能特点

1）真空稳定性能突出，100Pa以下优于2%，100Pa 以上优于 1%；

2）同时可检测 4~8 个传感器，被检传感器之间互不影响；

3）整机尺寸小，可快速分离真空舱，保障整套装置运输；

4）配置有信号输入输出接口，便于在线检测传感器以及读取标准传感器信号

5）供电电源 220V±10%；

6）检测效率高，任一真空值之间稳定时间约（1~10）min，大部分测量点可以保证 2min 内稳定；

7）不需其他任何装置即可正常工作（不需要外接氮气）；

8）复杂环境下可正常工作；

9）设备尺寸：（600*600*1400）mm；重量：约400斤

PLC操作界面

四、 系统设计

1标准器具

a)低真空部分: 真空采用4只电容薄膜规。

b）主标准器：高真空部分采用SmartFB-A,此标准器采用国际共认最高精度Thyracont的热阴极全量程电离真空计VSH89D。测量范围（1×10³～1×10^-7）Pa,该真空计精度为±10%rdg.基础上进行独立校准数据修正，将真空示值误差控制在±10%rdg.。上级计量单位溯源范围（1～1×10^-4）Pa。 该标准器原理和MKS 370GP一致，可以保证送检量值的可靠性，同时避免被卡脖子，可以提供长期质保（三年）。

2校准室基本配置

采用高低很空校准室分离，双高真空系统设计。可以保障高真空校准室严格按照动态比对法真空标准装置的要求，最大程度接近理想状态。实现最佳压力值的稳定性。中、低真空校准是室按照低真空校准要求设计，操作便捷，适于开展校准工作为特点。同时采用两套单独的高真空系统，有利于操作简单和保证系统的各项技术指标。

超高真空校准室采用双球真空室。主泵采用美国KYKY的FF-160C系列分子泵。中、低真空校准室采用KYKY公司的FF100/150，该分子泵操作方便，经久耐用。主阀采用川北的超高真空插板阀，便于系统充气以及高真空的保持，同时可以切换对低真空校准室抽气。前级真空泵采用BAOS的GSP-3  无油涡旋真空泵，噪音低极限真空好。监测规采用上国光或正华公司生产的ZJ12 B-A规，测量范围10^-2～10^-8pa。中低真空监测规采用ZJ-27测量范围1～5×10^-6pa。

3校准室基本结构

真空室为双球真空室，为保证稳压室给校准室进气的均匀度，在校准室上方装有散流孔。上下真空室之间用金属密封法兰连接，中间有限流小孔。上下校准室赤道上各备有5-7个DN40CF法兰接口，（任意两个法兰通过球心直线互不相对，错开一定的角度，避免校准时的参数相互影响。）用来接被校规、比对规和四极质谱等。用EDWARDS微调阀对校准室进行压力控制。同时还可以通过小孔c1控制前级压力的来计算校准室压力。

在下球室底部装有CF150法兰与主泵连接。分子泵与前级真空泵之间通过电磁阀用波纹管连接。在分子泵、前级真空泵之间安装真空规，对前级压力监测。

4中、低真空校准室基本配置

中、低真空校准室为球形真空室，内径ф250mm，体积10L。主阀采用手动闸板阀，通过手动微调阀控制校准室压力，实现热传导真空计的校准以及给高真空校准室提供稳压气源。中低真空监测规采用复合真空计，电离规ZJ-27，测量范围10^-1～5×10^-6Pa。

5测量和控制系统

采用PLC控制，触摸屏显示真空系统，温度真空度等。管道阀门采用电气动阀门，真空系统实现自动和手动两种控制模式。通过水压继电器对冷却水压力进行监控。可根据用户要求实现计算机数据采集，原始记录自动生成等功能软件开发。

定州加热套，加热烘烤系统采用温度可控。稳压室、上游室和下游室温度可监测。

五、校准室材料及处理

1 材料

球形校准室以及管道材料采用304或316L。

2 焊接和真空热处理

采用自熔氩弧焊进行焊接，球形校准室在焊接前先清洗，确保超高真空的焊接要求。能够采用内焊的全部采用内焊。腔体焊接后在高真空烧氢炉内烧氢处理。

3 清洗

校准室及稳压室在焊接、氦质谱检漏全部完成后，全部零部件先进行超声波清洗以及电抛光。

六、配件及其它

除进口阀门外采用川北真空的产品，校准室的极限真空度由B-A规测量，并验收。本公司提供全套真空设备操作和鉴定员的培训。并长期提供最专业的技术和设备支持。