标准量程：5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM 1，2，3，5，10 SLM
准确度：±1%F.S
线性：±0.5～1%F.S
重复精度：±0.2%f.s(典型值typical）
气压降:＜0.01MPa
最大压力:3MPa
漏率:＜1×10的负八次方SCCSHe
输出信号:0～-+5.00V
温度范围:5～45℃
电源：±15V 50mA,
外形尺寸:（1）127×26×115mm（Swagelok）
         （2）124×26×115mm（VCR）
气路连接:φ6mm,1/4"Swagelok VCR
重量:0.8kg