标准量程：5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM 1，2，3，5，10 SLM
准确度：±1.5%F.S
线性：±0.5～1.5%F.S
重复精度：±0.2%f.s
气压降:＜0.01MPa
最大压力:3MPa
漏率:＜1×10的负八次方SCCSHe
输出信号:0～-+5.00V
温度范围:5～45℃
电源：±15V 50mA,-15, 50mA
外形尺寸:158×30×110mm
气路连接:φ6mm,1/4"Swagelok
重量:1kg