质量流量控制器D07-18A/ZM
产品技术指标 标准量程:10,20,30,50,100,200,500SCCM 1,2,3,5,10SLM, 准确度:±1%F.S 线性:±0.5~1%F.S 重复精度:±0.2%f.s典型值(typical) 响应时间 气 :1~4s 工作压差范围:0.1~0.5MPa 最大压力:3MPa 漏率:1*10E-9SCCHe 输入/输出信号:0~+5.00v 温度范围:5~45℃ 电源:+15V 50mA,-15V 200mA