利用棱镜耦合的原理测试测试光学功能材料的膜厚、折射率和波导损耗。
一、主要测试功能:
1波导损耗的测量
2薄膜及波导折射率/厚度测量
3体材料折射率的测量
4薄膜及体材料的双折射测量
5液体折射率的测量
二、主要应用领域:
1光波导器件芯片的制备
2激光晶体的制备
3聚合物材料的属性研究
4显示技术材料的测量
5光/磁存储材料的测量
6光学薄膜的制备
三、主要测量参数:
折射率
折射率测量范围 1.0 to 2.45
折射率精度 0.001
折射率分辨率 ±0.0005
厚度
厚度测量范围 0.4?-20?
厚度精确度 ±(0.5%+50?)
厚度分辨率 ±0.3%
体材料(仅测折射率)
折射率精度 0.0005
折射率分辨率 ±0.0001
厚薄膜
厚度测量范围 2?-150?
液体(仅测折射率)
折射率测量范围 1.0 to 2.4
折射率精度 ± 0.0005
光波导损耗测量
测量限度 below 0.05dB/cm
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