WS-1000湿法设备

l 全白色聚丙烯构造

l 可内置任何Laurell公司的旋涂机

l 排放简便的入氮口和DI喷头

l 如果需要更小尺寸——有微型的供选择

一般信息

Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括（但不限于）：

l 涂敷

l 蚀刻

l 开发-水/溶剂

l 清洗-水/溶剂

l 确认，硫酸/双氧水（原样混合）

l 确认，HBr

l 温控开发

l 冲洗/烘干

特点：

全聚丙烯构造（见下文的自灭火功能）

可兼容安装任何Laurell 旋涂机

有排孔的湿隔层（易于拆除）

潮湿的空间

标准规格的排气空间

被热水器，水泵，容器等隔离的组件/容器

选项：

l 排气联锁控制处理器（一些型号是标准的）

l 加热和原材料搅拌

l 抵抗力冲洗

l 排水转向装置

l 真空负荷棒

l 晶片盒座

l 检漏

l 轻塔

可以根据要求采用更高级的材料

更好的

WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。

最佳的

WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合最严格的FMRC 4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性，自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和最小毒副产品的检测标准。

 

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