使用高頻使氬氣形成電離子狀態，產生高溫的等離子體。霧化器吸上液體試樣進行霧化，導入該等離子體內時，試樣中的原子被激動。對由激發原子產生的元素特有的光進行分光是ICP發射光譜分析法，離子化的原子引入真空內進行質量分析是ICP質量分析法。