规格参数：

   坐标测量行程：                X向行程：200㎜   Y向行程：100㎜ 

X、Y坐标测量分辨率：        0.0002㎜ 

仪器准确度：                 (1+L/100)μm，其中L为测量长度，单位：㎜

测角目分辨率：               1′

分度头角度测量分辨率：       1′

分度头角度测量准确度：       30″      

主显微镜立柱的倾斜范围：     ±12°

方工作台承放工件最大高度：   140mm

顶针架夹持最大直径和长度：   φ100㎜  长700mm

高顶针架夹持最大直径和长度： φ250㎜  长200mm

物镜放大率，工作距离及视场直径：

 

物镜放大率	总放大率	工作距离（㎜）	视场直径（㎜）
1×	10×	≈79	≈φ20
3×	30×	≈69	≈φ6.7
5×	50×	≈49	≈φ4

光学定位器的主要技术参数:

光学定位器最小探测孔径：     φ5

光学定位器最大探测深度：     15mm

仪器承受工件最大重量：           40kg

仪器主机外形尺寸(㎜)：           长×宽×高=1300×1250×800

仪器主机重量：                   450㎏