EX-3000荧光X线膜厚计
仪器特点：
搭载MS-WINDOWS系统（优越的操作性与高精度测定）
与IBM PC 相容个人电脑
使用与IBM PC相容个人电脑，采用MS-WINDOWS软体，使用时多彩多姿。
采用二种滤波器
用用数位式滤波器外另有机械式滤波器（两种滤波器），在测定时，若是最适当的条件下，经常可得到最高的精度。
准值仪5种孔径内藏式
最小的准值仪孔径仅0.1 mm，可测定极微小的部品。
标准：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另备有2种特别规格可供选购。
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5
自动测定测量台
利用滑鼠来调整测量位置，非常敏捷快速。或是测量位置已完成登陆时，可连续自动测定，利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。
优越的显示机能
测定部显示尽像的表示
X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置，可由倍率率更机能来实现尽面上测出物放大。
在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。
提长资料处理的速度
充实测量报告的作成机能
采用MS-WINDOW软件，测定画的撷取，非常简便，可充衬测量报告的制作机能。可同时间隔处理多项工作，机器在测量中亦可处理其他工作：包括如测量报告的制作。
测定物膜厚附著分布表示
以三次元图案来表示测定物膜厚附著状态的分布，作判定时一目了然。 获得安心的保证性。
自己诊断机能及X线管保食机能
自己诊断机能，迅速的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能，可加强保养的安全性。
各机型规格参数：
机型 手动测量台 自动测量台
测量台尺寸（mm） 170*110 240*220
移动量
X（mm） 70 200
Y(mm) 70 200
Z(mm) 50（最大150） 50
测定物最大高度（mm） 50（option 150） 50
尺寸（mm） 602(W)*463(D)*732(H)
重量（kg） 55 61
样品最大何重（kg） 3 1
电脑 尺寸（mm） 本体182（W）*383（D）/显示幕412（W）*415（D）*432（H）
电脑重量（kg） 本体9/显示幕16
印表机 重量（kg） 5．2
电源 AC100V±10V（option AC115V、AC230
仪器详细介绍：
1. X線源:油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計數管。
4. 濾波器：採用 Co 和 Ni 雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。
5. 準直儀：Collimator 採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
(選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
(選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。
7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。
貳. 電腦操作部:
8. 電腦系統：(※僅供參考)
IBM 相容中文個人電腦.
CPU：Intel Celeron 1GHz.
RAM：128 MB.
Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1.
Hard Disk：40 GB.
17" 高畫質顯示幕.
EPSON彩色噴墨式印表機。
9. 本機型(COSMOS-1X系列)之操作系統採中文視窗(Windows98)對話式操作，非常簡便。
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參. 特性說明:
10. 測量項目：
單層膜厚測定.
2層膜厚測定.
3層膜厚測定.
無電解鎳膜厚測定.
合金膜厚成份比同時測定.
元素的光譜峰值測定分析.
11. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。
12. 測量範圍：原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um.
13. 測量機能：
同一點重複測定機能
輸出形式設定.
能譜測定.
14. 測量條件或膜厚規格可以保存.
當要測量相同的製品時，若測量條件已儲存，可以馬上進行測量。
最大檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。
最大測量檔案數 ：可登錄儲存300組檔案。
15. 檔案記錄：
每一個批號可儲存無限個測量資料.(因所使用的電腦之容量大小而定)
每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.
每個批號可單獨執行統計處理.
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每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).
16. 資料處理：
統計值表示：平均值、標準偏差、最大值、最小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。
X-R 管制圖.
柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。
可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。
17. 底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。
18. 觀物顯示幕：十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。
肆. 安全裝置.
19. 本機俱有自動安全斷電系統功能.
20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出，以防止外人任意操作.
伍. 其他機能.
21. 密碼辨識功能
22. 裝置維護調整.
23. 測量部主機： 尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜.
重量：約 44.2 Kg.
24. 操作部：(※僅供參考)
電腦尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量：約 8.8 Kg.
顯示幕尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量：約16.5 Kg.
印表機尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量：約 4.3 Kg.
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柒. X-Y-Z軸可移動式測量台.
25. 測量台尺寸及移動量.
測量台尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜
移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜.
26. 測量樣品限制.
樣品限制高度： 45㎜
樣品限制重量： 3 Kg.
捌. 使用電源.
27. 電壓: AC100V ±10V ； 50/60Hz
(選購) AC110V， AC220V.
28. 容量: 700V
