EMITECH K950X 高真空蒸镀仪
——应用于SEM，TEM及X-Ray

 

仪器特点                           仪器优点

● 全自动抽气系统                         ● 容易操作
● 旋转样品台                             ● 均匀的样品涂层
● 菜单驱动式“用户”键盘输入             ● 方便多用户操作
● 快速释放头方便选择不同的头             ● 可用于蒸碳及蒸镀金属
● 约束的排气控制                         ● 在排气过程中可防止样品损坏
● 涡轮分子泵抽真空                       ● 碳棒或碳丝蒸发

 

技术规格
仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量：28Kg
工作腔室：硼硅酸盐玻璃165mm Dia x 125mm H
安全钟罩：聚碳酸酯
铝机座：110mm Dia x 115mm H
碳  源：直径3.2mm碳棒
旋转样品台：直径为60 mm，倾斜0-90^o
           到电极距离为110mm 到 130mm
真空计范围：ATM - 1x10^-5 mbar
操作真空：1x10^-2 to 1x10^-5 mbar
安培计：0-50 Amps
低电压选择：0-5V-15V-25V
除气电流：0-25 Amps
涡轮分子泵：50L/Second 
Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2, 35L/Min 
complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m³/Hr
电源：230V 50Hz (包括泵最大电流8 安培)；115V 60Hz(包括泵最大电流16 安培)