重現性 < 0.005mm
臺面大小 350*270mm
解析力 0.001mm
機台重量 100Kg
示值精度 4+L/150um
放大倍數 20x～120x
X、Y、Z行程 200*100*100mm
臺面荷重 20Kg
外形尺寸(W*D*H) 520*580*870mm
CCD 彩色1/3寸41萬畫素